200x200mm落地型顯影蝕刻機(Floor-standing Developer/Etcher)
規格簡介:
●外觀尺寸:1200mm(W)x1200mm(D)x2050mm(H)。
●基材:80mmx80mm, 100mmx100mm, 200mmx200mm Glass Substrate。
●手動上片/自動供料
●供料系統:自動噴灑手臂1組
●主軸轉速:10~3,000 rpm (±3rpm)。
●驅動:AC Servo Motor
●控制系統:MITSUBISHI PLC。
●記憶模組:10組。